《 以40.68MHz超高頻電漿輔助化學氣相沉積技術製備HIGH-K薄膜及其微波特性分析之研究》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:以40.68MHz超高頻電漿輔助化學氣相沉積技術製備HIGH-K薄膜及其微波特性分析之研究
- 論文名稱(外文):Preparation of High-k Thin Film Using 40.68 MHz Very High-Frequency Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition and its Analysis of Microwave Characteristics
- 學校名稱:崑山科技大學
- 系所名稱:電腦與通訊研究所
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:王馨霈
- 指導教授:吳宏偉
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/m6uvq5
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