《 以雙(叔丁基胺)雙(二甲基胺)鎢與硫化氫作為原子層沉積法之前驅物製備硫化鎢的反應機構研究》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:以雙(叔丁基胺)雙(二甲基胺)鎢與硫化氫作為原子層沉積法之前驅物製備硫化鎢的反應機構研究
- 論文名稱(外文):A Proposed Mechanism of WS2 Formation by Atomic Layer Deposition Using Bis(tert-butylimino)bis(dimethylamino)tungsten and H2S
- 學校名稱:國立清華大學
- 系所名稱:工程與系統科學系
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:陳彥君
- 指導教授:李志浩
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/wvdprk
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