《 利用噴霧式大氣壓化學氣相沉積技術成長高介電係數氧化物與C軸優選氧化銦鎵鋅薄膜與薄膜電晶體之研製》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:利用噴霧式大氣壓化學氣相沉積技術成長高介電係數氧化物與C軸優選氧化銦鎵鋅薄膜與薄膜電晶體之研製
- 論文名稱(外文):Investigation and Fabrication of Thin-Film Transistor with high-K Oxides and C-axis Aligned Crystalline InGaZnO Thin Films by Mist Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition Technology
- 學校名稱:逢甲大學
- 系所名稱:電子工程學系
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:洪皓君
- 指導教授:劉漢胤 楊炳章
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/x9c9xa
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