《 高功率脈衝磁控濺鍍沉積多層氮化鉻/氮化鉻鋁矽薄膜之特性研究》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:高功率脈衝磁控濺鍍沉積多層氮化鉻/氮化鉻鋁矽薄膜之特性研究
- 論文名稱(外文):Study on the characterizations of CrN/CrAlSiN multilayer coating deposited by a HiPIMS hybrid process
- 學校名稱:明志科技大學
- 系所名稱:材料工程系碩士班
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:黃竣鴻
- 指導教授:張奇龍
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/h7u6b3
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