《 以氮化鋁鈧壓電薄膜研製3.5 GHz之固態微型諧振器》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:以氮化鋁鈧壓電薄膜研製3.5 GHz之固態微型諧振器
- 論文名稱(外文):Fabrication of 3.5 GHz solidly mounted resonator with AlScN piezoelectric thin film
- 學校名稱:國立中山大學
- 系所名稱:電機工程學系研究所
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:陳昱誠
- 指導教授:陳英忠
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/g4ut99
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