《 利用混成式電漿化學氣相沉積系統製備類鑽碳鈍化層及其電特性分析》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:利用混成式電漿化學氣相沉積系統製備類鑽碳鈍化層及其電特性分析
- 論文名稱(外文):Electrical characteristics of diamond-like carbon passivation layer on silicon substrate grown by hybrid plasma chemical vapor deposition system
- 學校名稱:國立臺灣科技大學
- 系所名稱:材料科學與工程系
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:蔣侑融
- 指導教授:柯文政
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/59am73
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