《 以低溫濺鍍製程製備C軸優選取向氮化鋁壓電膜及其在無鉛壓電MEMS加速規應用之研究》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:以低溫濺鍍製程製備C軸優選取向氮化鋁壓電膜及其在無鉛壓電MEMS加速規應用之研究
- 論文名稱(外文):Study of C-axis Aluminum Nitride Piezoelectric Films via Low-temperature Sputtering Method for Lead-free Piezoelectric MEMS Accelerometer Applications
- 學校名稱:國立成功大學
- 系所名稱:奈米積體電路工程碩士學位學程
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:陳澤輝
- 指導教授:朱聖緣
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/79hcd7
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