《 利用部分最小平方迴歸法來建立TFT-LCD產業中濕蝕刻製程的關鍵尺寸損失量的預測模型》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:利用部分最小平方迴歸法來建立TFT-LCD產業中濕蝕刻製程的關鍵尺寸損失量的預測模型
- 論文名稱(外文):A Predictive Model of Critical Dimension Loss in TFT-LCD Wet Etching Processes by Partial Least Squares Regression
- 學校名稱:國立成功大學
- 系所名稱:工業與資訊管理學系碩士在職專班
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:黃偉庭
- 指導教授:黃宇翔
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/s7gc6z
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