《 以原子層沉積法製備氧化鋁鉿閘極介電層及表面氮電漿處理之氮化鋁鎵/氮化鎵金氧半高電子遷移率電晶體》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:以原子層沉積法製備氧化鋁鉿閘極介電層及表面氮電漿處理之氮化鋁鎵/氮化鎵金氧半高電子遷移率電晶體
- 論文名稱(外文):AlGaN/GaN Metal-Oxide-Semiconductor High Electron Mobility Transistors with Atomic Layer Deposited HfAlO Gate Dielectric and Nitrogen Plasma Treatment
- 學校名稱:國立成功大學
- 系所名稱:奈米積體電路工程碩士學位學程
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:楊舜凱
- 指導教授:王永和
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/m3be56
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