《 12吋金屬濺鍍設備薄膜結晶改善研究》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:12吋金屬濺鍍設備薄膜結晶改善研究
- 論文名稱(外文):12 Inches Metal Sputtering Equipment Thin Film Quality Improvement
- 學校名稱:中華大學
- 系所名稱:機械工程學系
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:李政圜
- 指導教授:馬廣仁
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/968srw
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