《 低溫微波退火之摻雜活化與基板耦合效應研究》博士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:低溫微波退火之摻雜活化與基板耦合效應研究
- 論文名稱(外文):A Study on Dopant Activation and Susceptor-coupling Effect under Low Temperature Microwave Anneal
- 學校名稱:國立交通大學
- 系所名稱:電子物理系所
- 畢業學年度:107
- 學位類別:博士
- 作者:薛富國
- 指導教授:趙天生 李耀仁
- 博士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/5s58a5
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