《 氮/氟置入高介電閘極介電層及矽鍺掩埋式通道對鰭式電晶體之電特性影響》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:氮/氟置入高介電閘極介電層及矽鍺掩埋式通道對鰭式電晶體之電特性影響
- 論文名稱(外文):N/F Incorporated High-k Gate Dielectric and SiGe Buried Channel on Electrical Characteristics of FinFET
- 學校名稱:國立清華大學
- 系所名稱:工程與系統科學系
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:蔡尚甫
- 指導教授:張廖貴術
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/e26jte
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