《 不同基板上沉積氮化鋁薄膜之特性研究》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:不同基板上沉積氮化鋁薄膜之特性研究
- 論文名稱(外文):Characteristics Analysis of Aluminum Nitride (AlN) Thin Film Deposited on Different Substrates by RF magnetron Sputtering
- 學校名稱:中原大學
- 系所名稱:電子工程研究所
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:王昱崴
- 指導教授:陳至信
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/6663th
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