《 晶片製造的虛擬量測:基於卷積神經網路之光學蝕刻模擬和遮罩優化》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:晶片製造的虛擬量測:基於卷積神經網路之光學蝕刻模擬和遮罩優化
- 論文名稱(外文):Virtual Metrology for IC Fabrication: A CNN-Based Lithography Simulation and Mask Optimization
- 學校名稱:國立清華大學
- 系所名稱:電機工程學系
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:彭兆翊
- 指導教授:林嘉文
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/v49x84
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