《 負電容鰭式場效電晶體在次5奈米厚之氧化鉿鋯下的特性與原子尺度分析》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:負電容鰭式場效電晶體在次5奈米厚之氧化鉿鋯下的特性與原子尺度分析
- 論文名稱(外文):Characterization and atomic-level analysis of sub-5 nm-thick Hf0.5Zr0.5O2 for Negative Capacitance FinFET
- 學校名稱:國立清華大學
- 系所名稱:工程與系統科學系
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:陳品睿
- 指導教授:吳永俊
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/5955h4
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