《 阻擋層與金屬後退火處理對鰭式電晶體之可靠度影響研究》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:阻擋層與金屬後退火處理對鰭式電晶體之可靠度影響研究
- 論文名稱(外文):Effects of Barrier Layer and Post-metal Annealing on Reliability Property in FinFET
- 學校名稱:國立清華大學
- 系所名稱:工程與系統科學系
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:高竹余
- 指導教授:張廖貴術
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/vh4449
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