《 電漿輔助化學氣相沉積碳氮化矽薄膜之應力與熱膨脹係數研究》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:電漿輔助化學氣相沉積碳氮化矽薄膜之應力與熱膨脹係數研究
- 論文名稱(外文):Intrinsic stress and thermal expansion coefficient of PECVD silicon carbonitride films using silazane precursors
- 學校名稱:國立交通大學
- 系所名稱:材料科學與工程學系所
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:孫韻茹
- 指導教授:呂志鵬
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/d5heuw
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