《 使用氮化鎢為阻障層之高功率氮化鎵元件銅金屬化導線製程之研究》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:使用氮化鎢為阻障層之高功率氮化鎵元件銅金屬化導線製程之研究
- 論文名稱(外文):Study of copper metallization with Ti/WNx/Ti as diffusion barrier for high power AlGaN/GaN HEMTs
- 學校名稱:國立交通大學
- 系所名稱:光電系統研究所
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:蔡明諺
- 指導教授:張翼 馬哲申
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/747ns6
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