《 紫外光輔助熱退火處理對碳橋接式低介電碳氮化矽薄膜影響之研究》博士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:紫外光輔助熱退火處理對碳橋接式低介電碳氮化矽薄膜影響之研究
- 論文名稱(外文):UV-assisted thermal annealing of Low-k Carbon-Bridged Silicon Carbonitride Films
- 學校名稱:國立交通大學
- 系所名稱:材料科學與工程學系所
- 畢業學年度:107
- 學位類別:博士
- 作者:張瑋元
- 指導教授:呂志鵬
- 博士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/9q6wcg
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