《 利用機器學習預測半導體製程中化學機械平坦化的晶圓材料移除率》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:利用機器學習預測半導體製程中化學機械平坦化的晶圓材料移除率
- 論文名稱(外文):Predicting Wafer Material Removal Rate for Semiconductor Chemical Mechanical Polishing using Machine Learning
- 學校名稱:國立交通大學
- 系所名稱:工業工程與管理系所
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:吳聲澔
- 指導教授:劉建良
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/8332vc
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