《 高功率磁控脈衝(HiPIMS)製程環境對氮化鈦與氮化鋯薄膜之機械性質影響》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:高功率磁控脈衝(HiPIMS)製程環境對氮化鈦與氮化鋯薄膜之機械性質影響
- 論文名稱(外文):Effect of High Power Impulse Magnetron Sputtering Process Environment on Mechanical Properties of TiN and ZrN Thin Films
- 學校名稱:國立中興大學
- 系所名稱:精密工程學系所
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:陳啟文
- 指導教授:林明澤
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/uxatap
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