《 以雷射退火及雙重離子佈植改善絕緣層覆矽鰭式電晶體之電特性研究》碩士論文下載 | 博碩士論文下載網
- 論文名稱:以雷射退火及雙重離子佈植改善絕緣層覆矽鰭式電晶體之電特性研究
- 論文名稱(外文):Improved Electrical Characteristics of SOI FinFET by Laser Annealing and Double Ion Implantations
- 學校名稱:國立清華大學
- 系所名稱:工程與系統科學系
- 畢業學年度:107
- 學位類別:碩士
- 作者:陳孟揚
- 指導教授:張廖貴術
- 碩士論文下載網址:https://hdl.handle.net/11296/j4hmfz
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