以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製高氮氮化矽薄膜其熱退火對光學特性與機械特性之影響 | 博碩士論文下載網
此外高反射鏡材料的光學特性也需有一定的品質,因此本研究致力開發低機械損耗且具良好光學特性之材料。本實驗室所開發之高氮氮化矽薄膜在室溫下有良好之機械損耗, ...,以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製高氮氮化矽薄膜其熱退火對光學特性與機械特性之影響.FrontCover.張臨安.國立清華大學,2018.,論文名稱(中文):,以電漿輔助化學氣相沈積法於矽懸臂沈積之氮化矽薄膜應力對機械損耗之影響暨機械損耗量測系統改善.論文名稱(外文):,Stresseffectonmechanical ...,本研究,控制不同的沉積溫度,加入氮氣或是甲烷共同沉積碳氮化矽薄膜,另外對上述...
以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製高氮氮化矽薄膜其熱退火對光學特性與機械特性之影響 以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製高氮氮化矽薄膜其熱退火對光學特性與機械特性之影響 屏 東 大學 不動產 碩士班 幼兒發展六大領域指標 護理教育研究所 台南 大學管理學院 林政 佑 台南大學 王育敏老公楊明哲 輔大物理系光電組必修 逢甲電機甲乙組差別
以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製高氮氮化矽薄膜其熱退火對光學 ... | 博碩士論文下載網
此外高反射鏡材料的光學特性也需有一定的品質,因此本研究致力開發低機械損耗且具良好光學特性之材料。本實驗室所開發之高氮氮化矽薄膜在室溫下有良好之機械損耗, ... Read More
以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製高氮氮化矽薄膜其熱退火對光學特性 ... | 博碩士論文下載網
以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製高氮氮化矽薄膜其熱退火對光學特性與機械特性之影響. Front Cover. 張臨安. 國立清華大學, 2018. Read More
以電漿輔助化學氣相沈積法於矽懸臂沈積之氮化矽薄膜應力對 ... | 博碩士論文下載網
論文名稱(中文):, 以電漿輔助化學氣相沈積法於矽懸臂沈積之氮化矽薄膜應力對機械損耗之影響暨機械損耗量測系統改善. 論文名稱(外文):, Stress effect on mechanical ... Read More
電漿輔助化學氣相沈積碳氮化矽薄膜之應力研究 | 博碩士論文下載網
本研究,控制不同的沉積溫度,加入氮氣或是甲烷共同沉積碳氮化矽薄膜,另外對上述碳氮化矽薄膜行使紫外光輔助退火及一般熱退火處理改進其機械性質.本研究目的:(1)暸解不同 ... Read More
以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製於矽懸臂之氮化矽其熱退火後 ... | 博碩士論文下載網
由 陳信傑 著作 · 2017 — 以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製於矽懸臂之氮化矽其熱退火後對於室溫機械損耗之影響. Annealing effect on the room temperature mechanical loss of the silicon ... Read More
以射頻電漿輔助化學氣相沉積含氮類鑽碳薄膜於具有CrTaN中間層之 ... | 博碩士論文下載網
本論文以射頻電漿輔助氣相沉積(RF-PECVD)技術,製作非晶含氮類鑽碳薄膜於具有CrTaN中間層之燒結碳化鎢底材,研究該薄膜的組成成分,結構,表面形貌,機械性質和熱穩定性. Read More
相關資訊整理
《 以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製高氮氮化矽薄膜其熱退火對光學特性與機械特性之影響》碩士論文下載
《以電漿輔助化學氣相沉積法鍍製高氮氮化矽薄膜其熱退火對光學特性與機械特性之影響》哪裡下載?該論文是張臨安於107年畢業...