barc材料 | 博碩士論文下載網
BARC—底部抗反射塗料.這提供全方位的反射控制解決方案。該材料可基於專利聚合物平台,具有低的揮發性不純物的特性,以及降低不良率和蝕刻率的優點。...在塗覆光阻之前, ...,用于光刻的涂层材料和方法。提供了一种方法,该方法包括提供衬底和在衬底上形成底部抗反射涂层(BARC)。该BARC包括覆在第二部分上面的第一部分,第二部分具有不同于第 ...,2018年1月11日—底部抗反射塗層(BottomAnti-ReflectionCoating,BARC)是位於Si襯底和光刻膠之間的塗層。主要成分是能交聯的樹脂、熱致酸發生劑、表面活性劑以及溶劑。,本文研究一種利用低介...
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BARC — 底部抗反射塗料. 這提供全方位的反射控制解決方案。該材料可基於專利聚合物平台,具有低的揮發性不純物的特性, 以及降低不良率和蝕刻率的優點。 ... 在塗覆光阻之前, ... Read More
CN103926796A | 博碩士論文下載網
用于光刻的涂层材料和方法。提供了一种方法,该方法包括提供衬底和在衬底上形成底部抗反射涂层(BARC)。该BARC包括覆在第二部分上面的第一部分,第二部分具有不同于第 ... Read More
【光刻百科】抗反射塗層Anti | 博碩士論文下載網
2018年1月11日 — 底部抗反射塗層(Bottom Anti-Reflection Coating, BARC)是位於Si襯底和光刻膠之間的塗層。主要成分是能交聯的樹脂、熱致酸發生劑、表面活性劑以及溶劑。 Read More
以低介電常數材料作為深紫外光微影之抗反射層研究 | 博碩士論文下載網
本文研究一種利用低介電常數材料作為深紫外光微影中底抗反射層技術,可藉由控制其覆蓋. 硬質罩幕層之厚度,得到一性質極佳的底抗反射層,可以將來自底材的反射率降低至1% ... Read More
光刻胶用底部抗反射涂层研究进展 | 博碩士論文下載網
2016年2月1日 — 近年来,BARC材料已经应用到了集成电路的实际制造过程中,其选用的材料和结构也是各种各样,但不论是何种类型的BARC,其目的都是最大化地降低反射光的 ... Read More
抗反射塗層(光刻中所用的抗反射塗層) | 博碩士論文下載網
底部抗反射塗層(Bottom Anti-Reflection Coating, BARC)是位於Si襯底和光刻膠之間的塗層。主要成分是能交聯的樹脂、熱致酸發生劑、表面活性劑以及溶劑。底部抗反射圖層 ... Read More
抗反射塗層 | 博碩士論文下載網
底部抗反射塗層(Bottom Anti-Reflection Coating, BARC)是位於Si襯底和光刻膠之間的塗層。主要成分是能交聯的樹脂、熱致酸發生劑、表面活性劑以及溶劑。底部抗反射圖層 ... Read More
抗反射相關情報 | 博碩士論文下載網
底部抗反射涂层(BARC,Bottom Anti-Reflective Coating)。将抗反射涂层涂覆在光刻胶的底部来减少底部光的反射。有两种涂层材料:有机抗反射涂层(Organic),在硅片 ... Read More
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