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北美智權報第105期：原子層蝕刻技術從實驗室走入晶圓廠
www.naipo.com
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TKS 真空科技
tpl.ncl.edu.tw
蝕刻技術,AtomicLayerEtch,取各字首結合而成,其實ALE這詞彙早在1960-1970年代,...在談ALE之前,先來談一下ALD,ALD...
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客製化ALE 系統Atomic Layer Etching System
www.tiri.narl.org.tw
光學元件鍍膜、氟化物表面改質.OpticalComponentCoating,SurfaceModification.本系統以ALD自我侷限原理，解決傳統...
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越薄越好，3D薄膜製程大挑戰：淺談原子層沈積技術
www.narlabs.org.tw
原子層沈積(AtomicLayerDeposition,ALD)是一種可以將材料一層一層成長的薄膜製程技術，一般常見的ALD製程由四個步...
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【半导体】原子层刻蚀Atomic Layer Etch
www.bilibili.com
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www.bilibili.com
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TWI689012B
patents.google.com
H01L21/31116Etchinginorganiclayersbychemicalmeansbydry-etching...如同原子層沉積(ALD)，蝕刻之依形性或方向性...
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Etch
www.lamresearch.com
AtomicLayerEtch(ALE)ReactiveIonEtch.LamResearch的介電層蝕刻系統具備應用導向功能，可用來建構先進元件中的各...
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利用原子層蝕刻技術克服EUV隨機變異
www.eettaiwan.com
2021年3月15日—Lam已把ALE的理想狀態定義為「協同作用」。它的計算方式是，把每個週期的蝕刻淨量(ALET)減去僅在改...
延伸參考