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原子層沉積系統(Atomic Layer Deposition
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原子層沉積系統原理及其應用
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越薄越好，3D薄膜製程大挑戰：淺談原子層沈積技術
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原子層沉積
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化學氣相沉積氧化鋅磊晶薄膜於YSZ 基板之研究
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